ИО́ННЫЕ ПУЧКИ́
-
Рубрика: Физика
-
Скопировать библиографическую ссылку:
ИО́ННЫЕ ПУЧКИ́, направленные потоки положительных (одно- или многозарядных) или отрицательных ионов, имеющие обычно малые поперечные размеры по сравнению с длиной и движущиеся со скоростью, значительно превышающей хаотич. тепловые скорости составляющих частиц. Впервые И. п. наблюдал нем. физик Э. Гольдштейн в 1886 (т. н. каналовые лучи).
И. п. получают с помощью разл. ионных источников и формируют системами электрич. и магнитной фокусировки. И. п. могут иметь вид цилиндра, конуса, ленты и т. п. Поведение И. п. зависит от начальной направленной скорости ионов, их тепловых скоростей, внешних электрич. и магнитных полей, столкновений ионов с частицами среды, а также от собств. объёмного заряда пучка и магнитного поля его тока. Влияние объёмного заряда И. п. на его свойства характеризуется первеансом $P=I/U^{3/2}$, где $I$ – ток пучка, $U$ – ускоряющая ионы разность потенциалов. Пучки с постоянным первеансом при одинаковых размерах подобны друг другу. Хотя разброс тепловых скоростей ионов мал по сравнению с их направленной скоростью, часто именно тепловые скорости ограничивают возможную фокусировку И. п., искажая его форму. Это качество пучка характеризуется т. н. эмиттансом, связанным с фазовым объёмом пучка.
Форма осесимметричного И. п. искажается также при отсутствии частиц противоположного знака под действием собств. заряда. Для сохранения формы И. п. объёмный заряд ионов компенсируют зарядом частиц противоположного знака. Обычно используют «газовую» компенсацию. При столкновении некоторых положительных ионов пучка с атомами остаточного газа образуются электроны и медленные положительные ионы. Последние выталкиваются из пучка электрич. полем, а электроны накапливаются в нём, хотя этому препятствуют их кулоновские столкновения с первичными ионами. Так достигается не полная, но значит. компенсация объёмного заряда в пучке положительных ионов. В пучке отрицательных ионов при малом давлении газа накапливающиеся медленные положительные ионы также лишь частично компенсируют объёмный заряд И. п. Однако при достаточно большом давлении газа происходит перекомпенсация объёмного заряда: за счёт накопления большого числа медленных положительных ионов потенциал в пучке изменяет свой знак и происходит «газовая фокусировка» пучка отрицательных ионов.
Другой способ компенсации объёмного заряда И. п. состоит в «принудительном» введении в И. п. пучков зарядов противоположного знака, т. е. в совмещении пучков. Так получают синтезированные ион-электронные или ион-ионные пучки с компенсированным объёмным зарядом.
Для получения И. п. часто используют ионные источники с газоразрядными ионизационными камерами, и тогда отбор ионов происходит не с фиксированной поверхности твёрдого тела, а с границы плазмы, перемещающейся при изменении внешних условий или режима работы источника. В этом случае первичное формирование И. п. связано с т. н. плазменной фокусировкой. При увеличении ускоряющей разности потенциалов граница плазмы из выпуклой становится вогнутой, создаются условия для фокусировки пучка. Далее И. п. могут фокусироваться с помощью электростатич. и магнитных линз (см. Электронные линзы).
Ток в квазистационарных И. п. достигает 100 А, а в импульсных – сотен тысяч А. Важной проблемой остаётся транспортировка таких пучков.
И. п. широко применяются в ускорителях заряженных частиц, в разрабатываемых установках для осуществления управляемого ионного термоядерного синтеза, в установках для разделения изотопов, для исследования поверхности твёрдых тел, для ионного травления в технологии микроэлектроники, в масс-спектрометрии, ионном микроскопе и др.