ИО́ННЫЙ МИКРОСКО́П

ИО́ННЫЙ МИКРОСКО́П, ион­но-оп­тич. при­бор, в ко­то­ром для по­лу­че­ния уве­ли­чен­ных изо­бра­же­ний при­ме­ня­ет­ся ион­ный пу­чок, соз­да­вае­мый тер­мо­ион­ным или га­зо­раз­ряд­ным ион­ным ис­точ­ни­ком. По прин­ци­пу дей­ст­вия И. м. ана­ло­ги­чен элек­трон­но­му мик­ро­ско­пу. Про­хо­дя че­рез объ­ект и ис­пы­ты­вая в разл. его уча­ст­ках рас­сея­ние и по­гло­ще­ние, ион­ный пу­чок фо­ку­си­ру­ет­ся сис­те­мой элек­тро­ста­тич. или маг­нит­ных линз и соз­да­ёт на эк­ра­не или фо­то­слое уве­ли­чен­ное изо­бра­же­ние объ­ек­та.

И. м. об­ла­да­ет бо­лее вы­со­кой раз­ре­шаю­щей спо­соб­но­стью по срав­не­нию с элек­трон­ным мик­ро­ско­пом. Дли­на вол­ны де Брой­ля для ио­нов в $(M/m)^{1/2}$ раз мень­ше, чем для элек­тро­нов ($m$ – мас­са элек­тро­на, $M$ – мас­са ио­на) при оди­на­ко­вом ус­ко­ряю­щем на­пря­же­нии. Вслед­ст­вие это­го в И. м. очень ма­лы эф­фек­ты ис­ка­же­ния, обу­слов­лен­ные ди­фрак­ци­ей час­тиц, ко­то­рые ог­ра­ни­чи­ва­ют раз­ре­шаю­щую спо­соб­ность элек­трон­но­го мик­ро­ско­па. Др. пре­иму­ще­ст­ва И. м. – мень­шее влия­ние из­ме­не­ния мас­сы ио­нов при боль­ших ус­ко­ряю­щих на­пря­же­ни­ях и луч­шая кон­тра­ст­ность изо­бра­же­ния. Напр., кон­тра­ст­ность изо­бра­же­ния ор­га­нич. плё­нок тол­щи­ной 5 нм, вы­зван­ная рас­сея­ни­ем ио­нов, в неск. раз пре­вы­ша­ет кон­тра­ст­ность, вы­зван­ную рас­сея­ни­ем элек­тро­нов.

К не­дос­тат­кам И. м. от­но­сят­ся: за­мет­ная по­те­ря ио­на­ми энер­гии да­же при про­хо­ж­де­нии их че­рез очень тон­кие объ­ек­ты, что при­во­дит к раз­ру­ше­нию объ­ек­тов; боль­шая хро­ма­тич. абер­ра­ция; раз­ру­ше­ние лю­ми­но­фо­ра эк­ра­на ио­на­ми и сла­бое фо­то­гра­фич. дей­ст­вие ио­нов. Из-за этих не­дос­тат­ков И. м. не име­ет по­ка ши­ро­ко­го при­ме­не­ния по срав­не­нию с элек­трон­ным. К кон. 20 в. соз­да­но лишь неск. опыт­ных об­раз­цов И. м. Бо­лее эф­фек­ти­вен И. м. без элек­тро­ста­тич. и маг­нит­ных линз – ион­ный про­ек­тор.