ИО́ННОЕ ТРАВЛЕ́НИЕ

ИО́ННОЕ ТРАВЛЕ́НИЕ, уда­ле­ние ве­ще­ст­ва с по­верх­но­сти твёр­до­го те­ла под дей­ст­ви­ем ион­ной бом­бар­ди­ров­ки. В ос­но­ве И. т. ле­жит эмис­сия ио­нов, ато­мов и кла­сте­ров с по­верх­но­сти при её ион­ной бом­бар­ди­ров­ке. Про­цессы рас­пы­ле­ния и, со­от­вет­ст­вен­но, И. т. за­ви­сят от ин­тен­сив­но­сти ион­но­го пуч­ка, ви­да, энер­гии и уг­ла па­де­ния ио­нов, а так­же от ма­те­риа­ла и со­стоя­ния ми­ше­ни. В ре­зуль­та­те И. т. про­ис­хо­дит из­ме­не­ние струк­ту­ры и со­ста­ва по­верх­но­сти, ко­то­рое оп­ре­де­ля­ет­ся разл. фи­зич. про­цес­са­ми: в пер­вую оче­редь рас­пы­лени­ем, де­фек­то­об­ра­зо­ва­ни­ем, им­план­та­ци­ей ио­нов и ато­мов от­да­чи, ра­диа­ци­он­но-сти­му­ли­ро­ван­ной диф­фу­зи­ей. Из­ме­не­ние струк­ту­ры обу­слов­ле­но по­яв­ле­ни­ем де­фек­тов и даль­ней­шим воз­ник­но­ве­ни­ем мик­ро- и мак­ро­ско­пич. не­од­но­род­но­стей, что при­во­дит к оп­ре­делён­но­му рель­е­фу по­верх­но­сти (ям­ки трав­ле­ния, пи­ра­ми­ды, ко­ну­сы и т. д.). При трав­ле­нии ио­на­ми хи­ми­че­ски ак­тив­ных га­зов (т. н. ион­но-хи­ми­че­ское трав­ле­ние) ис­поль­зу­ет­ся вы­со­кая се­лек­тив­ность (из­би­ра­тель­ность) рас­пы­ле­ния, напр. при рас­пы­ле­нии по­верх­но­ст­ных плё­нок без трав­ле­ния под­лож­ки. В ча­ст­но­сти, се­лек­тив­ность рас­пы­ле­ния $\ce{SiO_2}$ по от­но­ше­нию к $\ce{Si}$ ши­ро­ко ис­поль­зу­ет­ся при соз­да­нии по­лу­про­вод­ни­ко­вых при­бо­ров.

И. т. при­ме­ня­ет­ся для чи­ст­ки по­верх­но­сти, при­чём при оп­ре­де­лён­ных ус­ло­ви­ях не толь­ко не раз­ви­ва­ет­ся рель­еф, но и по­яв­ля­ет­ся воз­мож­ность по­лу­че­ния атом­но-глад­кой по­верх­но­сти за счёт мн. цик­лов трав­ле­ние – от­жиг; для вы­яв­ле­ния струк­ту­ры по­верх­но­сти, де­фек­тов, де­фор­ми­ро­ван­ных уча­ст­ков; для соз­да­ния мно­го­ост­рий­ной по­верх­но­сти; для про­фи­ли­ро­ва­ния при по­слой­ном ана­ли­зе со­ста­ва ме­то­да­ми оже-спек­тро­ско­пии.