ИО́ННАЯ БОМБАРДИРО́ВКА
-
Рубрика: Физика
-
Скопировать библиографическую ссылку:
ИО́ННАЯ БОМБАРДИРО́ВКА, облучение поверхности твёрдого тела ускоренными ионами, приводящее к возникновению множественных вторичных процессов. Осн. вторичными процессами являются: рассеяние первичных частиц с возможностью изменения их зарядовых и возбуждённых состояний, проникновение первичных частиц в глубь твёрдого тела (ионная имплантация), эмиссия разл. частиц с поверхности твёрдого тела (распыление, ионно-ионная эмиссия, ионно-электронная эмиссия, ионно-стимулированная десорбция, ионно-фотонная эмиссия) за счёт энергии первичной частицы (потенциальной и кинетической). Также часто наблюдается изменение структуры и рельефа поверхности.
И. б. наблюдается как в естественных (напр., ионная бомбардировка искусств. спутников Земли), так и в лабораторных условиях (напр., в электромагнитных разделителях изотопов).