ИО́ННО-ИО́ННАЯ ЭМИ́ССИЯ

ИО́ННО-ИО́ННАЯ ЭМИ́ССИЯ (вто­рич­ная ион­ная эмис­сия), эмис­сия (ис­пус­ка­ние) ио­нов твёр­ды­ми те­ла­ми при ион­ной бом­бар­ди­ров­ке их по­верх­но­сти. Ис­пус­кае­мые ио­ны, в т. ч. мно­го­за­ряд­ные, мо­гут быть как по­ло­жи­тель­ны­ми, так и от­ри­ца­тель­ны­ми, в ос­нов­ном и воз­бу­ж­дён­ном со­стоя­ни­ях. В ре­зуль­та­те пе­ре­да­чи час­ти­цам по­верх­но­сти ки­не­тич. энер­гии и им­пуль­са от пер­вич­ных бом­бар­ди­рую­щих ио­нов про­ис­хо­дит рас­пы­ле­ние твёр­до­го те­ла. При эмис­сии атом­ных час­тиц за счёт элек­трон­но-об­мен­ных про­цес­сов фор­ми­ру­ет­ся за­ря­до­вое со­стоя­ние эми­ти­руе­мой час­ти­цы. Обыч­но до­ля ио­нов в об­щем по­то­ке рас­пы­лён­ных час­тиц не­зна­чи­тель­на (10^–2–10^–6). И.-и. э. ис­клю­чи­тель­но чув­ст­ви­тель­на к со­стоя­нию по­верх­но­сти; напр., ад­сорб­ция ки­сло­ро­да на по­верх­но­сти ме­тал­лов мо­жет уве­ли­чить вы­ход вто­рич­ных по­ло­жи­тель­ных ио­нов в 100–1000 раз. И.-и. э. ле­жит в ос­но­ве вто­рич­ной ион­ной масс-спек­тро­мет­рии (ВИМС) – са­мо­го чув­ст­ви­тель­но­го ме­то­да ана­ли­за со­ста­ва по­верх­но­сти (от­но­си­тель­ная чув­ст­ви­тель­ность до 10^–9), ши­ро­ко ис­поль­зуе­мо­го в мик­ро- и на­но­элек­тро­ни­ке, ма­те­риа­ло­ве­де­нии и др.