РАСПЫЛЕ́НИЕ

РАСПЫЛЕ́НИЕ твёр­дых тел, раз­ру­ше­ние твёр­дых тел при бом­бар­ди­ров­ке их по­верх­но­сти за­ря­жен­ны­ми и ней­траль­ны­ми час­ти­ца­ми (ато­ма­ми, ио­на­ми, ней­тро­на­ми, элек­тро­на­ми, фо­то­на­ми). Про­дук­ты Р. – ато­мы, по­ло­жи­тель­ные и от­ри­ца­тель­ные ио­ны, а так­же ней­траль­ные и ио­ни­зо­ван­ные атом­ные и мо­ле­ку­ляр­ные ком­плек­сы (кла­сте­ры). Ско­рость Р. ха­ракте­ри­зу­ют пол­ным ко­эф., рав­ным ср. чис­лу всех час­тиц, ис­пу­щен­ных ми­шенью, при­хо­дя­щих­ся на од­ну бом­бар­ди­рую­щую час­ти­цу, или пар­ци­аль­ны­ми ко­эф­фи­ци­ен­та­ми для ка­ж­до­го ти­па ис­пу­щен­ных час­тиц. Про­цесс Р. ха­рак­те­ри­зу­ет­ся так­же энер­ге­тич., уг­ло­вым и за­ря­до­вым рас­пре­де­ле­ния­ми рас­пы­лён­ных час­тиц, их рас­пре­де­ле­ния­ми по со­стоя­ни­ям воз­бу­ж­де­ния, мас­сам и др.

Вы­де­ля­ют неск. ви­дов Р., раз­ли­чаю­щих­ся ме­ха­низ­мом про­цес­са. Столк­но­ви­тель­ное Р. (фи­зи­чес­кое, или ион­ное) до­ми­ни­ру­ет в об­лас­ти энер­гий бом­бар­ди­рую­щих час­тиц, где пре­об­ла­да­ют уп­ру­гие про­цес­сы; воз­ни­ка­ет при пе­ре­да­че ки­не­тич. энер­гии бом­бар­ди­рую­щих час­тиц ато­мам ми­ше­ни, вслед­ст­вие че­го не­ко­то­рые ато­мы при­об­ре­та­ют энер­гию, пре­вы­шаю­щую энер­гию свя­зи по­верх­но­ст­ных ато­мов, и по­ки­да­ют ми­шень. Р. за счёт не­уп­ру­гих про­цес­сов воз­ни­ка­ет в ре­зуль­та­те воз­бу­ж­де­ния и ио­ни­за­ции ато­мов твёр­до­го те­ла. Хи­мич. Р. воз­ни­ка­ет, ес­ли па­даю­щие час­ти­цы всту­па­ют в ре­ак­цию с ато­ма­ми твёр­до­го те­ла, в ре­зуль­та­те че­го на по­верх­но­сти об­ра­зу­ют­ся мо­ле­ку­лы с низ­кой энер­ги­ей свя­зи, ко­то­рые мо­гут де­сор­би­ро­вать­ся. Воз­мож­ны со­че­та­ния не­сколь­ких ме­ха­низ­мов рас­пы­ле­ния.

Р. ис­поль­зу­ют для по­лу­че­ния атом­но-чис­тых по­верх­но­стей, тон­ких плё­нок, ана­ли­за по­верх­но­стей, при ион­но-лу­чевой и ион­но-плаз­мен­ной об­ра­бот­ке по­верх­но­стей. Р. ле­жит в ос­но­ве ион­но-плаз­мен­ных спо­со­бов трав­ле­ния ма­те­риа­лов для це­лей мик­ро­элек­тро­ни­ки, иг­ра­ет важ­ную роль в кос­мич. ма­те­риа­ло­ве­де­нии, аку­сти­ке, тех­ни­ке ядер­ных ре­ак­то­ров (Р. под дей­ст­ви­ем ней­тро­нов) и тер­мо­ядер­ных уст­ройств, при кон­сер­ва­ции ра­дио­ак­тив­ных от­хо­дов и т. д.