НАПЫЛЕ́НИЕ
-
Рубрика: Технологии и техника
-
-
Скопировать библиографическую ссылку:
НАПЫЛЕ́НИЕ, нанесение вещества в дисперсном состоянии на поверхность изделий и полуфабрикатов для сообщения им спец. физико-химич., механич., декоративных свойств, а также для устранения дефектов поверхности. Н. – один из способов металлизации, также широко применяется для нанесения лакокрасочных покрытий, в произ-ве тонкоплёночных элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов, изделий электронной техники, акустоэлектроники и др.
Напылённое покрытие удерживается на поверхности в осн. силами адгезии. Для Н. используют металлы ($\ce {Ni, Zn, Al, Ag, Cr, Cu, Au, Pt}$ и др.), сплавы (напр., сталь, бронзу), химич. соединения (силициды, бориды, карбиды, оксиды), неметаллич. материалы (пластмассы, краски). Толщина напыляемого слоя (от долей мкм до нескольких сотен мкм) зависит от требуемых свойств покрытия, метода и режима Н. В зависимости от способа воздействия на обрабатываемую поверхность различают Н.: газопламенное, электродуговое, высокочастотное, плазменное, детонационно-газовое и др. В процессе газопламенного Н. напыляемый материал плавят в пламени горелки, при электродуговом – электрич. дугой; в обоих случаях капельки материала перемещаются к напыляемой подложке потоком воздуха. При плазменном Н. для нагрева и распыления материала используется струя плазмы, формируемая плазмотроном. Детонационно-газовое Н. происходит в результате взрыва, разгоняющего металлич. частицы до огромных скоростей.
Относительно низкотемпературный процесс – холодное газодинамич. Н. порошковых материалов (в нерасплавленном состоянии) позволяет получать высокое качество покрытий. На обрабатываемую поверхность сверхзвуковым потоком воздуха (500–1000 м/с), нагретым до темп-ры 250–500 °C, наносятся порошки органич. (напр., полимерных) и неорганич. (металлы, интерметаллиды, керамика или их смеси) материалов с размером частиц 5–50 мкм.
Для нанесения плёночных покрытий широко применяют вакуумное Н., основанное на создании направленного потока частиц (атомов, молекул, ионов или кластеров) наносимого (распыляемого) вещества на поверхность изделий и их конденсации в условиях вакуума (1,0–1·10–7 Па). Вакуумное Н. также используется для создания упрочняющих (толщиной до 20 мкм), защитных и теплозащитных (толщиной до 200 мкм) покрытий.