ЭЛЕКТРО́ННЫЙ ПРОЕ́КТОР

ЭЛЕКТРО́ННЫЙ ПРОЕ́КТОР (ав­то­элек­трон­ный мик­ро­скоп), без­лин­зо­вый элек­трон­но-оп­ти­че­ский при­бор для по­лу­чения уве­ли­чен­но­го в 10⁵–10⁶ раз изо­бра­же­ния по­верх­но­сти твёр­до­го те­ла. Изо­бре­тён в 1936 нем. фи­зи­ком Э. В. Мюл­ле­ром. Осн. час­ти Э. п.: ка­тод в ви­де про­во­лоч­ки (ост­рия) с то­чеч­ным эмит­те­ром на кон­це, ра­ди­ус кри­виз­ны ко­то­ро­го 10^–7–10^–8 м; стек­лян­ная сфе­рич. или ко­ну­со­об­раз­ная кол­ба, дно ко­то­рой по­кры­то сло­ем лю­ми­но­фо­ра; анод в ви­де про­во­дя­ще­го слоя на стен­ках кол­бы или про­во­лоч­но­го коль­ца, ок­ру­жаю­ще­го ка­тод. Из кол­бы от­ка­чи­ва­ет­ся воз­дух (ос­та­точ­ное дав­ле­ние 10^–9–10^–11 мм рт. ст.). Ко­гда на анод по­да­ют по­ло­жит. на­пря­же­ние в неск. кВ от­но­си­тель­но рас­по­ло­жен­но­го в цен­тре кол­бы ка­то­да, на­пря­жён­ность элек­трич. по­ля Е у по­верх­но­сти кон­чи­ка ост­рия дос­ти­га­ет 10⁷–10⁸ В/см. Это обес­пе­чи­ва­ет ин­тен­сив­ную ав­то­элек­трон­ную эмис­сию. При этом элек­тро­ны эми­ти­ру­ют­ся пре­им. с мест ло­каль­но­го уве­ли­че­ния Е над не­боль­ши­ми не­ров­ностя­ми и вы­сту­па­ми по­верх­но­сти эмит­те­ра.

Эми­ти­ро­ван­ные элек­тро­ны, ус­ко­ря­ясь в ра­ди­аль­ных (от­но­си­тель­но ост­рия) на­прав­ле­ни­ях, бом­бар­ди­ру­ют эк­ран, вы­зы­вая све­че­ние лю­ми­но­фо­ра, и соз­да­ют на эк­ра­не уве­ли­чен­ное кон­тра­ст­ное изо­бра­же­ние по­верх­но­сти ка­то­да, от­ра­жаю­щее её кри­стал­лич. струк­ту­ру. Кон­траст ав­то­элек­трон­но­го изо­бра­же­ния оп­ре­де­ля­ет­ся плот­но­стью ав­то­эмис­си­он­но­го то­ка, ко­то­рая за­ви­сит от ло­каль­ной ра­бо­ты вы­хо­да, от­ра­жаю­щей кри­стал­ло­гра­фич. строе­ние по­верх­но­сти эмит­те­ра, и от ве­ли­чи­ны по­ля у по­верх­но­сти эмит­те­ра. Уве­ли­че­ние в Э. п. за­ви­сит от рас­стоя­ния ме­ж­ду ка­то­дом и эк­ра­ном и гео­мет­рии труб­ки. Пре­дел раз­ре­ше­ния Э. п. со­став­ля­ет (2–3)·10^–7 см.

Э. п. при­ме­ня­ют­ся для изу­че­ния ав­то­элек­трон­ной эмис­сии ме­тал­лов и по­лу­про­вод­ни­ков, для оп­ре­де­ле­ния ра­бо­ты вы­хо­да с раз­ных гра­ней мо­но­кри­стал­ла, для изу­че­ния по­верх­но­ст­ной диф­фу­зии ато­мов разл. ве­ществ на про­во­дя­щей по­верх­но­сти и др. Э. п. при край­ней про­сто­те уст­рой­ст­ва обес­пе­чи­ва­ет вы­со­кую раз­ре­шаю­щую спо­соб­ность. Ес­ли её не­об­хо­ди­мо по­вы­сить до раз­ме­ров ато­мов, то Э. п. лег­ко пе­ре­вес­ти в ре­жим ион­но­го про­ек­то­ра.