РЕНТГЕ́НОВСКАЯ ТОПОГРА́ФИЯ

РЕНТГЕ́НОВСКАЯ ТОПОГРА́ФИЯ (рент­ге­нов­ская ди­фрак­ци­он­ная мик­ро­ско­пия), один из пря­мых ме­то­дов на­блю­де­ния де­фек­тов в кри­стал­лах, даю­щий ин­фор­ма­цию об их ти­пе, ко­ли­че­ст­ве и рас­пре­де­ле­нии в объ­ё­ме кри­стал­лич. ре­шёт­ки. Ме­то­ды Р. т. име­ют бо­лее низ­кое про­стран­ст­вен­ное раз­ре­ше­ние (ок. 1 мкм), чем ме­то­ды элек­трон­ной мик­ро­ско­пии (ок. 0,13 нм), но по­зво­ля­ют по­лу­чать изо­бра­же­ния кри­стал­лов боль­шей пло­ща­ди (10–100 см²) и име­ют вы­со­кую чув­ст­ви­тель­ность к ло­каль­ной ра­зо­ри­ен­та­ции зё­рен кри­стал­лич. ре­шёт­ки (0,1–0,01″). Ме­то­ды Р. т. ши­ро­ко ис­поль­зу­ют­ся для оцен­ки ка­че­ст­ва кри­стал­лов в элек­трон­ной пром-сти, сол­неч­ной энер­ге­ти­ке, при про­из-ве ла­зе­ров и др.

Идея Р. т. впер­вые вы­ска­за­на нем. фи­зи­ком В. Бер­гом в 1931. Прин­ци­пи­аль­ная схе­ма Р. т. со­сто­ит в сле­дую­щем. Пу­чок рент­ге­нов­ско­го из­лу­че­ния на­прав­ля­ет­ся на ис­сле­дуе­мый кри­сталл под уг­лом Брэг­га (см. в ст. Брэг­га – Вуль­фа ус­ло­вие) к вы­бран­ной сис­те­ме кри­стал­ло­гра­фич. плос­ко­стей. Ди­фра­ги­ро­ван­ный луч, ис­пус­кае­мый ка­ж­дой точ­кой об­раз­ца, ре­ги­ст­ри­ру­ет­ся дву­мер­ным де­тек­то­ром (фо­то­пла­стин­кой, те­ле­ка­ме­рой, ПЗС-мат­ри­цей и др.); т. о., ме­ж­ду точ­ка­ми об­раз­ца и точ­ка­ми на де­тек­то­ре су­ще­ст­ву­ет вза­им­но од­но­знач­ное со­от­вет­ст­вие. В слу­чае иде­аль­но­го кри­стал­ла все от­ра­жён­ные лу­чи бу­дут иметь оди­на­ко­вую ин­тен­сив­ность и де­тек­тор за­ре­ги­ст­ри­ру­ет рав­но­мер­ную за­свет­ку, ис­хо­дя­щую от всех то­чек об­раз­ца. Де­фек­ты в кри­стал­ле фор­ми­ру­ют ди­фра­ги­ро­ван­ные лу­чи иной ин­тен­сив­но­сти: де­тек­тор ре­ги­ст­ри­ру­ет кар­ти­ну рас­пре­де­ле­ния де­фек­тов (рент­ге­нов­скую то­по­грам­му).

Ко­ли­че­ст­вен­ные ме­то­ды ана­ли­за ди­фракц. изо­бра­же­ния поя­ви­лись лишь в 1959, ко­гда брит. фи­зик А. Ланг пред­ло­жил но­вую схе­му Р. т. (ска­ни­ро­ва­ние и об­раз­ца, и де­тек­то­ра; по­лу­че­ние ог­рани­чен­ных и сек­ци­он­ных то­по­грамм). Совр. ана­лиз ди­фракц. изо­бра­же­ния опи­ра­ет­ся на ди­на­мич. тео­рию рас­сея­ния рент­ге­нов­ских лу­чей ре­аль­ны­ми кри­стал­ла­ми, учи­ты­ваю­щую ло­каль­ные ис­ка­же­ния кри­стал­лич. ре­шёт­ки.