ЧОХРА́ЛЬСКОГО МЕ́ТОД
-
Рубрика: Технологии и техника
-
Скопировать библиографическую ссылку:
ЧОХРА́ЛЬСКОГО МЕ́ТОД, получение (выращивание) монокристалла медленным вытягиванием его из расплава с помощью заранее полученного затравочного кристалла; один из методов направленной кристаллизации расплавов. Затравку закрепляют на водоохлаждаемом стержне, опускают в расплав, а затем медленно вытягивают при непрерывном вращении стержня. Процесс проводят в вакууме или в атмосфере инертного газа в водоохлаждаемой кристаллизационной установке.
Ч. м. позволяет задавать форму монокристалла и получать слитки необходимых размеров и геометрии, регулировать их качество (дефектность) путём изменения скоростей вращения и вытягивания затравки. Монокристалличность выросших кристаллов проверяют методом рентгеноструктурного анализа. Ч. м. применяется для выращивания монокристаллов ПП материалов (германий, кремний, арсенид галлия), металлов (золото, серебро), сплавов и др. Почти 95% мирового произ-ва монокристаллич. кремния выпускается по Ч. м. Ныне возможно получение монокристаллов кремния длиной ок. 2 м, диаметром 300 мм и массой 265 кг.
Метод предложен в 1916 польск. химиком Я. Чохральским (1885–1953), опубликован в 1918.