ЗО́ННАЯ ПЛА́ВКА
-
Рубрика: Технологии и техника
-
-
Скопировать библиографическую ссылку:
ЗО́ННАЯ ПЛА́ВКА, процесс перекристаллизации твёрдого вещества, осуществляемый путём создания в обрабатываемом изделии (прутке, слитке) узкого расплавленного участка (т. н. зоны) и его медленного перемещения вдоль изделия. При этом образуются две межфазные границы зоны – поверхности раздела твёрдой и жидкой фаз: на одной происходит плавление, на другой – кристаллизация. Для расплавления используются индукционный, электронный, плазменный и др. виды нагрева. В процессе плавки либо нагреватель смещается относительно неподвижного образца, либо образец – относительно нагревателя (обычно скорость перемещения расплавленной зоны по образцу 0,1–10 мм/мин, соотношение ширины расплавленной зоны и длины образца ок. 1:10). Различают З. п. контейнерную (для материалов, не взаимодействующих с материалом контейнера) и бестигельную (для материалов с достаточно высоким поверхностным натяжением в жидком состоянии, напр. $\ce{Si, Ge, Nb, Mo}$; образец устанавливается вертикально). Для удержания расплавленной зоны от растекания (в случае высокой жидкотекучести материала) применяют разл. технологич. приёмы, напр. З. п. проводят в магнитном поле.
З. п. широко применяется для получения особо чистых материалов (металлов, ПП, диэлектриков, органич. и неорганич. соединений и др.) с содержанием примесей до 10–7–10–9% (зонная очистка), легирования и равномерного распределения примеси по слитку (зонное выравнивание), выращивания монокристаллов и др. Зонная очистка основана на том, что по мере продвижения расплавленной зоны происходит перераспределение по длине образца содержащихся в материале примесей вследствие различия растворимости примесей в твёрдой и жидкой фазе. Зонное выравнивание заключается в попеременном перемещении расплавленной зоны от начала образца к концу и обратно, в результате чего происходит равномерное распределение примесей и легирующих добавок по длине слитка. Выращивание монокристаллов осуществляют при использовании затравочного кристалла (монокристаллич. зародыша). В месте стыка затравочного кристалла со стержнем, подлежащим перекристаллизации, создаётся расплавленная зона, захватывающая как часть стержня, так и часть затравки. При оптимальном подборе параметров З. п. формируется монокристаллич. структура.
З. п. впервые использована в 1927 для очистки железа, в 1952 для получения германия высокой степени чистоты. В нач. 1950-х гг. В. Пфанн (США) сформулировал осн. положения З. п., провёл фундам. исследования в области теории и аппаратурного оформления процесса.