ВА́КУУМ
-
Рубрика: Физика
-
-
Скопировать библиографическую ссылку:
ВА́КУУМ (от лат. vacuum – пустота), среда, представляющая собой газ при давлении существенно ниже атмосферного. Понятие «В.» применяется обычно к газу в замкнутом сосуде, но нередко оно распространяется и на газ в свободном пространстве, напр. в космосе.
Физич. процессы в В. зависят от соотношения между ср. длиной свободного пробега $\lambda$ частиц газа (молекул, атомов) и размером $d$, характерным для конкретного процесса или прибора (расстояние между стенками вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода, расстояние между электродами и т. п.). В зависимости от величины отношения $\lambda/d$ различают В. низкий $(\lambda /d \ll 1)$, средний $(\lambda /d \approx 1)$ и высокий $(\lambda /d \gg 1)$. Обычно в вакуумных установках и приборах (с $d \approx$ 10 см) низкому В. соответствует давление $p \gt$ 102 Па, среднему – от 102 до 10-1 Па, высокому – от 10-1 до 10-6 Па. Существует также понятие сверхвысокого В. ($p \lt$ 10–6 Па), которое связано не с величиной отношения $\lambda/d$, а с временем $\tau$, необходимым для образования мономолекулярного слоя газа на поверхности твёрдого тела, помещённого в В. Величина $\tau$ обратно пропорциональна давлению $p$. При $p \lt$ 10–6 Па $\tau$ может превышать неск. десятков секунд.
В низком В. свойства газа определяются частыми столкновениями между частицами, сопровождающимися обменом энергией. Поэтому течения газа в низком В. носят вязкостный характер, а явления переноса (теплопроводность, диффузия, внутр. трение) характеризуются плавным изменением (или постоянством) градиента переносимой величины. При этом переносимое количество теплоты или вещества не зависит от давления. При прохождении электрич. тока в низком В. определяющую роль играет ионизация молекул (или атомов) газа в пространстве между электродами.
В высоком В. свойства газа определяются столкновениями частиц со стенками. Между этими соударениями частицы движутся прямолинейно, не сталкиваясь друг с другом (молекулярный режим течения). Явления переноса характеризуются возникновением скачка градиента переносимой величины на стенках. Количество переносимой теплоты или вещества прямо пропорционально давлению. Прохождение тока в высоком В. возможно в результате испускания (эмиссии) электронов и ионов электродами. Ионизация молекул (или атомов) газа в высоком В. имеет существенное значение только в тех случаях, когда длина свободного пробега заряженных частиц становится значительно больше расстояния между электродами (напр., при движении заряженных частиц по сложным траекториям в магнитном поле). Свойства газа в среднем В. являются промежуточными между его свойствами в низком и высоком вакууме.
В. является рабочей средой во мн. электронных приборах и устройствах. Для создания В. в таких приборах производят откачку газа из рабочего объёма (см. Вакуумный насос), для поддержания В. в приборах предусмотрены спец. газопоглотители (геттеры). Давление газа в В. измеряется с помощью вакуумметра. В. используется в качестве технологич. среды при очистке веществ от примесей, выращивании кристаллов, напылении плёнок и др.