ПРОБЛЕ́М ТЕХНОЛО́ГИИ МИКРОЭЛЕКТРО́НИКИ И ОСОБОЧИ́СТЫХ МАТЕРИА́ЛОВ ИНСТИТУ́Т
-
Рубрика: Химия
-
-
Скопировать библиографическую ссылку:
ПРОБЛЕ́М ТЕХНОЛО́ГИИ МИКРОЭЛЕКТРО́НИКИ И ОСОБОЧИ́СТЫХ МАТЕРИА́ЛОВ ИНСТИТУ́Т РАН (ИПТМ РАН), г. Черноголовка. Создан в 1983. Становление и развитие ИПТМ РАН связано с деятельностью Ч. В. Копецкого, В. В. Аристова, В. А. Тулина, В. Т. Петрашова и др.
ИПТМ РАН развивает фундам. и перспективные прикладные исследования, разрабатывает технологич. процессы и науч.-технологич. оборудование для микро- и наноэлектроники. Среди широкого спектра задач, решаемых в ин-те, можно выделить осн. направления деятельности: физич. принципы создания элементной базы наноэлектроники, квантовых компьютеров и датчиков физич. величин на основе материалов с металлич. проводимостью, в т. ч. с пониженной размерностью; разработка физич. основ материаловедения, технологии и диагностики устройств микро- и наноэлектроники; изучение физич. основ и разработка технологии формирования приборных структур микро- и наноэлектроники с помощью атомных, ионных и молекулярных пучков; исследование физич. основ и разработка технологии элементной базы СВЧ-электроники.
В 1993 создан аналитико-сертификац. центр ИПТМ РАН, разрабатывающий новые методы анализа высокочистых веществ, объектов окружающей среды, технологич. сред и материалов, биологич. и пищевых продуктов, сталей и сплавов, полу- и сверхпроводников сложного состава с использованием атомно- и масс- спектральных, ядерно-физич. методов анализа.